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Setra西特730型電容式壓力計產品應用
Setra西特730型電容式壓力計應用
·半導體處理室
·石化
·等離子體滅菌器
·真空包裝
Setra西特730型電容式壓力計產品應用
Setra 的730 型是一款高精度的電容式壓力計（亦稱電容式膜片真空計 (CDG)），適合在光伏、半導體和工業市場中測量對過程控制至關重要的低真空范圍。該產品讀數精度達±0.5%，分辨率高，優于同類產品。730 型使用全InconelTM 接液材料，可承受半導體加工過程中的腐蝕性介質。由于采用直接測量設計，它能測量介質，不受應用中氣體混合物成分的影響。
適合苛刻應用的高性能產品
采用單膜片可變電容感應元件，適用于苛刻的半導體和工業真空應用。它具有讀數精度和分辨率高、動態范圍寬的特點，使之成為關鍵制造過程中的理想選擇。
Inconel? 設計保證通用性
所有接液部件均采用Inconel? 材料， 因此對半導體和工業真空過程中的腐蝕性介質具有*的耐受性。
Inconel?材料結合全焊接結構， 確保730型在這類應用中的長使用壽命。
直接壓力測量
內置膜片可在使用點直接測量壓力變化。與其他工業電容式壓力計不同，730型測量直接壓力， 不受被測混合氣的影響，這使其精度優于間接測量型壓力計。
Setra西特730型電容式壓力計產品應用